一种制备炭材料的化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202121398198.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215365974U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215365974U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C23C16/26（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林巍;罗雪;丁洁 | 申请（专利权）人 | 厦门中材航特科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人 | 卢丽红 |
| 地址 | 361000福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦C区3F-A484 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种制备炭材料的化学气相沉积设备，设备内设有混气罐及沉积室，工件放置于沉积室内，碳源气体及惰性载气在混气罐中混合后通入沉积室，混气罐前侧加装有可对碳源气体进行电弧加热并电离的真空电弧发生器，经电弧加热并电离的碳源气体进入混气罐后和惰性载气混合。本实用新型可令碳源气体将变得易裂解，从而提高碳源气体使用率，有效的降低炭黑、焦油等副产物的生成。 |
