一种动态承载工件的反应室
基本信息
| 申请号 | CN202121410031.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215365977U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215365977U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林巍;罗雪;丁洁 | 申请（专利权）人 | 厦门中材航特科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人 | 朱凌 |
| 地址 | 361000福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦C区3F-A484 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种动态承载工件的反应室，反应室为一密闭腔体，其腔体的底部设置贯穿通孔，一升降承载装置通过通孔安装于腔体的底部，所述升降承载装置包括升降控制机构与顶杆。通过升降控制机构控制顶杆伸缩，本实用新型在反应室内实现了工件支撑点\面的动态变化，使得工件表面可充分沉积，避免了再次开炉，也无需增加工件表面积。且本实用新型可在现有设备上进行改造，制造费用少，无需其他工装配合使用，适用于工业化生产中。本实用新型的使用可缩短材料制备时间，提高生产效率，降低生产成本。 |
