白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及其装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及其装置

基本信息

申请号	CN200710018030.5	申请日	-
公开（公告）号	CN101324422A	公开（公告）日	2008-12-17
申请公布号	CN101324422A	申请公布日	2008-12-17
分类号	G01B9/023(2006.01);G01B11/24(2006.01)	分类	测量；测试;
发明人	张民芳;成武	申请（专利权）人	北京普瑞微纳科技有限公司
代理机构	西安文盛专利代理有限公司	代理人	西安普瑞光学仪器有限公司;雷枫
地址	710065陕西省西安市高新一路25号创新大厦N609
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及装置。其方法是将一束白光分别投射到样品和参考镜表面，两表面反射光再合成一束光投射在CCD相机感光面形成干涉条纹；通过改变样品和物镜的间距，在感光面上形成多幅干涉图像，输入计算机后得到振幅调制信号与光源的光谱分布相关的余弦函数的分布，通过非等间隔时间采样方法采得若干振幅调制信号的离散值，进而求得样品表面的相对高度。测量装置由光源、半反半透分光镜、CCD相机、干涉显微物镜和样品台等组成，分光镜将光源光束分为反射和透射两束光，CCD相机和干涉显微物镜分别设在其透射和反射光轴方向上，CCD相机与计算机控制连接，干涉显微物镜可由计算机控制做上下移动。