一种晶圆片自动中心定位仪
基本信息
| 申请号 | CN201420114498.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203787407U | 公开（公告）日 | 2014-08-20 |
| 申请公布号 | CN203787407U | 申请公布日 | 2014-08-20 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 雷枫;李少博;问孝明 | 申请（专利权）人 | 北京普瑞微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆片自动中心定位仪，包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器和控制电路，所述LED灯的信号输出端与所述图像传感器的信号输入端连接，所述图像传感器的信号输出端与所述图像数据处理器的信号输入端连接，所述图像数据处理器的信号输出端与所述像素计数器的信号输入端连接，所述控制电路的信号输出端分别与所述图像传感器的信号输入端和所述像素计数器的信号输入端连接。本实用新型设计了一种晶圆片自动中心定位仪，可以用于机械手上，来完成对晶圆片的中心定位，使得具有定位精确、工作效率较高和材料报废率较低的优点。 |
