单光子雪崩二极管装置、图像感测装置及激光雷达系统
基本信息
申请号 | CN202111109269.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113838879A | 公开(公告)日 | 2021-12-24 |
申请公布号 | CN113838879A | 申请公布日 | 2021-12-24 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L31/0232(2014.01)I;H01L31/107(2006.01)I;G01S7/481(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 吕京叡;吕京颖;李爽 | 申请(专利权)人 | 深圳市灵明光子科技有限公司 |
代理机构 | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 陈彦如 |
地址 | 518000广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼1201 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开一种单光子雪崩二极管装置、图像感测装置及激光雷达系统,其中,单光子雪崩二极管装置包括第一半导体区、第二半导体区、微透镜和反射器阵列,第二半导体区覆盖第一半导体区,微透镜覆盖第二半导体区。第二半导体区包括第一隔离结构、第二隔离结构和吸收区;第二隔离结构在第一方向上相对于第一隔离结构对准;吸收区覆盖第一半导体区。反射器阵列包括第一反射器组和第二反射器组,第一反射器组和第二反射器组均包括多个反射器;第一反射器组位于第一半导体区,且第一反射器组位于第二反射器组和吸收区之间。本申请可有效提升单光子雪崩二极管装置性能,提升SPAD传感器的检测性能。 |
