从晶片切割砂浆中分离出切割液、碳化硅和硅粉的方法
基本信息
| 申请号 | CN201210194054.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102851110B | 公开（公告）日 | 2013-12-11 |
| 申请公布号 | CN102851110B | 申请公布日 | 2013-12-11 |
| 分类号 | C10M175/00(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I | 分类 | 石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤; |
| 发明人 | 王彭;王祎 | 申请（专利权）人 | 江苏大阳光辅股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴大田知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏大阳光辅股份有限公司 |
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市徐霞客镇金凤工业园中盛路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了从晶片切割砂浆中分离出切割液、碳化硅和硅粉的方法，该方法工艺步骤包括：固液分离，用乙醇清洗分离出来的固体，再用纯水洗涤甩干，然后用激光粒度仪测定硅粉和碳化硅/金属混合物的粒度组成和分布状态，并用X射线衍射精密测定各组成部分的质量比，将测得的数据通过卧螺沉降离心机分选参数，由卧螺沉降离心机将砂粉初步分离成主要为碳化硅和铁粗粉、主要为碳化硅和硅的中粉和主要为硅的细粉，再将中粉加入电泳池，将电泳池上的电极加电，在电场作用下使碳化硅粉沉淀而硅粉上浮，再将沉淀后的碳化硅砂粉及粗粉进行碱洗和磁选除铁，然后水洗甩干。该工艺突破了现有废砂浆处理中超细颗粒的分离技术，并综合处理解决现有污染问题。 |
