一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN201820319043.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208378996U | 公开（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申请公布号 | CN208378996U | 申请公布日 | 2019-01-15 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 冯云 | 申请（专利权）人 | 长泰惠龙新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市汉唐知识产权代理有限公司 | 代理人 | 长泰惠龙新材料科技有限公司 |
| 地址 | 363900 福建省漳州市长泰县武安镇锦江小区95号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，包括底座、控制器、动力机构、炉体、排气管和两个导气机构，导气机构包括储气罐、导气管、导气室和入气管，导气组件包括导气轴、驱动组件、第一锥齿轮、两个扇叶和两个套管，驱动组件包括驱动块、转盘、转轴、第二锥齿轮、调节框和调节单元，排气机构包括往复组件、第一电机、第一驱动轴和两个清洁组件，该具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置通过导气机构控制进入炉体内的反应气体的流量，使反应气体以合适的比例进入炉体内，提高反应效率，不仅如此，利用排气机构清除排气管内壁上堆积的杂质，使废气顺利从排气口流出，使石墨烯的制备更为安全可靠，提高了设备的实用性。 |
