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一种单晶金刚石激光打标生长方法

基本信息

申请号	CN201910434088.0	申请日	-
公开（公告）号	CN110219044A	公开（公告）日	2021-07-06
申请公布号	CN110219044A	申请公布日	2021-07-06
分类号	C30B29/04;C30B25/02;C23C16/27;C23C16/02;B23K26/362	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	胡付生;王琦;张天翊;张军恒;张军安	申请（专利权）人	宁波晶钻科技股份有限公司
代理机构	广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙）	代理人	胡拥军;糜婧
地址	315200 浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路777号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种单晶金刚石激光打标生长方法，其包括以下步骤：（S1）提供单晶金刚石种晶；（S2）提供激光标记设备，利用激光标记设备在单晶金刚石种晶表面进行标记形成缺陷；（S3）清除进行标记过程中产生的杂质；（S4）将标记后的单晶金刚石种晶放入化学气相沉积生长炉中，通入氢气和甲烷，比例为100:2至100:5，将炉内气压控制在10KPa～15KPa，控制炉内单晶金刚石种晶温度为700℃～800℃，生长时间大于10小时，以使得标记形成的缺陷被覆盖而不被填充，从而实现在单晶金刚石内部形成标记。本发明操作简单，加工速度快，以一种经济有效的方案实现了在金刚石内部进行标记，且做出的标记通过放大镜等放大设备或肉眼即可被观察到。