一种微波等离子体设备自动控压装置
基本信息
| 申请号 | CN202021508488.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213298979U | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN213298979U | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | F16K31/04(2006.01)I;F16K37/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张天翊;张军安;朱海洋;张冠群;李大栓;何小兵 | 申请（专利权）人 | 宁波晶钻科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 宁波聚禾专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 糜婧 |
| 地址 | 315000浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路777号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种微波等离子体设备自动控压装置，包括连接在真空泵与微波等离子体设备的真空腔之间的微调阀，还包括与微调阀相连以调节微调阀开合度的动作模块、与动作模块相连以控制动作模块动作的控制模块、与控制模块相连用以输入操作指令的操作模块以及用以将真空腔内气压值反馈至控制模块的反馈模块。采用该装置进行控压自动化程度高、控制精度好并且操作非常方便。 |
