一种新型宽带增透膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011266720.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112376021A | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN112376021A | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18;G02B1/116 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 鲍刚华;原清海;林兆文;谢雨江;王奔 | 申请（专利权）人 | 上海米蜂激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李思琼;冯振华 |
| 地址 | 200136 上海市浦东新区泥城镇飞渡路55号3幢厂房A、B单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种新型宽带增透膜及其制备方法，该增透膜包括基底层，所述基底层上由内向外依次包括第一层Cu膜层和第二层MgF2膜层，其物理厚度依次为2.0‑3.5nm和70.0‑80.0nm。本发明通过引入金属层来降低整个膜层厚度，减少膜层数，提高制备的生产效率；并且改善增透膜的光谱特性，使光谱波纹减少，从而提高薄膜的重复性和稳定性。 |
