一种锗镜片的清洗方法

基本信息

申请号 CN202110310393.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112958539A 公开(公告)日 2021-06-15
申请公布号 CN112958539A 申请公布日 2021-06-15
分类号 B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 原清海;付秀华;谢雨江;王奔;林兆文;黄海昆;张程;王蓉;刘天伦 申请(专利权)人 上海米蜂激光科技有限公司
代理机构 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 代理人 李思琼;冯振华
地址 200136上海市浦东新区泥城镇飞渡路55号3幢厂房A、B单元
法律状态 -

摘要

摘要 本公开实施例中提供了一种锗镜片的清洗方法,包括:将锗镜片在频率为30‑80kHz的超声波中配合溶剂进行多次清洗,再将超声波清洗完成后的锗镜片在频率高于800kHz的兆声波中进行清洗。本发明的清洗方法实现了对小尺寸锗镜片的高效、高洁净度的超声清洗,在实现锗镜片高洁净度清洗的同时避免了超声波过度清洗对锗镜片元件造成的表面损伤和材料损伤。