一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法
基本信息
| 申请号 | 2020115136866 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112251720A | 公开（公告）日 | 2021-01-22 |
| 申请公布号 | CN112251720A | 申请公布日 | 2021-01-22 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 原清海;王奔;谢雨江 | 申请（专利权）人 | 上海米蜂激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李思琼;冯振华 |
| 地址 | 200136上海市浦东新区泥城镇飞渡路55号3幢厂房A、B单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法，该镀膜方法包括以光学塑料为基底，交替沉积TiO2和SiON；TiO2采用电子束蒸发沉积，SiON采用磁控溅射沉积。该反射膜的镀膜装置包括真空腔体，真空腔体底部设置电子束蒸发镀膜装置，还包括设置于真空腔体外的旋转装置和磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置与旋转装置固定连接，旋转装置驱动磁控溅射镀膜装置做转动升降式运动，使磁控溅射镀膜装置能够移入和/或移出真空腔体。本发明的镀膜方法能够制得以光学塑料为基底的高硬度、低反射率高透射率的硬质减反射膜。 |
