一种干膜光阻冷却系统
基本信息
| 申请号 | CN202021252240.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212949625U | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN212949625U | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | B32B37/08(2006.01)I | 分类 | 层状产品; |
| 发明人 | 黄文军;蔡政斌;张辉;祁丹 | 申请（专利权）人 | 长兴电子（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州隆恒知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周子轶 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种干膜光阻冷却系统，包括冷却室、传送机构、风机和冷却装置。冷却室沿预设水平方向相对的两端分别设有进料口和出料口，冷却室的上端设有吹风单元，冷却室的底端设有排风单元，吹风单元靠近进料口设置，排风单元靠近出料口处设置。传送机构输入端设于进料口处，传送机构输出端沿预设水平方向向冷却室的内部延伸至出料口处。风机设于冷却室外部，风机的进风口与排风单元连通。冷却装置设于冷却室外部，冷却装置的一端与风机的出风口连通，另一端与吹风单元连通。本实用新型干膜光阻冷却系统能够有效降低干膜光阻的膜面温度，避免干膜光阻由于蓄热而产生的显影不洁等质量问题，提高干膜光阻的加工收率。 |
