一种具有气液分离回收功能的浸液供给回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202010055887.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138540A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138540A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱亚冠 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市临安市青山湖街道大园路958号科创大楼1幢301-305-01室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有气液分离回收功能的浸液供给回收装置。所述装置由浸液供给模块、密封气体供给模块和气液回收模块组成，向浸没式光刻机的投影物镜组和硅片衬底之间的空隙提供浸没液体和密封气体形成浸没流场。通过设置特殊的抽排开口形状和填充多孔介质，本发明在保证浸没流场有效密封维持的同时，将浸液与密封气体分离、分通道回收，减小由于气液两相混合回收所引起的回收流道和下游管路振动及其对浸没流场的冲击，可提高曝光过程中核心温度场的稳定性，提高硅片扫描曝光的质量。 |
