一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202010055886.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138539A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138539A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 付新;王晓波;吴敏;苏芮;胡亮 | 申请（专利权）人 | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱亚冠 |
| 地址 | 310027浙江省杭州市浙大路38号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，相邻的抽排开口之间设置钉扎带；所述钉扎带具有内钉扎带和外钉扎带，分别限制弯液面向内后退和向外前进，可提高浸没流场的密封能力，改善浸液回收通道的振动特性，提高衬底曝光的质量。 |
