一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202010055161.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138538A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138538A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱亚冠 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市临安市青山湖街道大园路958号科创大楼1幢301-305-01室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，在抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。设计注气开口到抽排开口的流道流阻显著小于注气开口到外部开放环境的流道流阻，使来自注气开口的密封气体大部分流向缓冲腔和抽排开口，可以增大缓冲腔对衬底运动速度的适应范围。 |
