一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202010055155.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138537A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138537A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 付新;李威锋;吴敏;苏芮;胡亮 | 申请（专利权）人 | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱亚冠 |
| 地址 | 310027浙江省杭州市浙大路38号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置具有第一抽排开口和第二抽排开口，使大部分浸液经第一抽排开口被抽吸，大部分密封气体经第二抽排开口被抽吸，使第一抽排开口和第二抽排开口中都具有较稳定的气液比例和流型；抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。 |
