一种分体式导电陶瓷舟

基本信息

申请号 CN201911233546.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110747434B 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN110747434B 申请公布日 2021-10-08
分类号 C23C14/26;C23C14/24 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 刘汝强;王殿春;孙蕾;吴思华;赵旭荣 申请(专利权)人 山东国晶新材料有限公司
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人 王楠
地址 251200 山东省德州市禹城市南环东路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种分体式导电陶瓷舟,属于金属热蒸发技术领域,装置包含石墨加热器和石墨陶瓷舟两部分;石墨加热器为长方体,石墨加热器中间部分为连续的折回板条,石墨加热器两端顶部均设有U型凸台,两个U型凸台的U型开口相向设置,石墨加热器的两端与电源进行连接;石墨陶瓷舟为长方体板,上部设有凹槽,凹槽用于盛融化的金属料,石墨陶瓷舟底部轮廓与石墨加热器两个U型凸台内的轮廓一致。陶瓷舟的加热部分可以单独进行设计,热器电路的横截面积整体变小,故陶瓷舟加热部分的电阻增大,增加陶瓷舟加热部分的电阻,从而增加陶瓷舟加热的稳定性。