一种蒸发源用组合隔热屏
基本信息
| 申请号 | CN202022133630.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213866394U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213866394U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘汝强;王殿春;赵旭荣 | 申请（专利权）人 | 山东国晶新材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵龙群 |
| 地址 | 251200山东省德州市禹城市南环东路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2‑3W/M.K，热导率低，隔热效果好。本实用新型适用于蒸发源，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。 |
