一种制备内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910998161.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110572889B | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN110572889B | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | H05B3/14（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 刘汝强;王殿春;孙蕾;吴思华;赵旭荣 | 申请（专利权）人 | 山东国晶新材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王楠;周慰曾 |
| 地址 | 251200山东省德州市禹城市南环东路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种制备内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器的方法，属于加热器技术领域，加热器包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；通过化学气相沉积制备PBN基体，再在PBN基体内表面沉积PG涂层，通过雕刻PG涂层制备电路，再沉积PBN涂层保护层，最终得到内表面加热的加热器，大幅度提高加热器加热的均匀性，热量损失小，耗能低。 |
