一种自加热的PBN坩埚
基本信息
| 申请号 | CN202021758342.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214193433U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214193433U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘汝强;王殿春;赵旭荣 | 申请（专利权）人 | 山东国晶新材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵龙群 |
| 地址 | 251200山东省德州市禹城市南环东路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种自加热的PBN坩埚，属于坩埚生产加工技术领域，坩埚包括PBN材质的坩埚基体，坩埚基体外表面设置PG导电层，PG导电层上涂覆一层PBN涂层。本实用新型通过坩埚自身的PG导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。 |
