一种去除夹持杆表面残渣的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010918646.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112222097B | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN112222097B | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01J23/24（2006.01）N;H01J25/34（2006.01）N | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 刘汝强;王殿春;秦虎;周清波 | 申请（专利权）人 | 山东国晶新材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 颜洪岭 |
| 地址 | 251200山东省德州市禹城市南环东路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种去除夹持杆表面残渣的方法，采用无菌高纯氮气对夹持杆进行高压吹扫，可有效去除夹持杆表面渗透的氮化硼残渣，使夹持杆表面达到较高的洁净度，清洁效果显著。本发明去除夹持杆表面残渣的方法，采用特制工装固定住夹持杆，能够避免夹持杆在高压吹扫下的变形，既达到清洁目的，又能保证夹持杆的形状。 |
