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一种快速清理石墨齿轮的装置

基本信息

申请号 CN202021467911.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214348111U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214348111U 申请公布日 2021-10-08
分类号 B08B1/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 刘汝强;王殿春;刘斌;窦松德;周清波 申请（专利权）人 山东国晶新材料有限公司
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人 赵龙群
地址 251200山东省德州市禹城市南环东路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种快速清理石墨齿轮的装置，包括底座，底座上侧活动设置有石墨齿轮固定座，石墨齿轮可拆卸安装在石墨齿轮固定座上，石墨齿轮固定座相对一侧底座上设置有驱动电机，驱动电机输出端通过驱动轴连接石墨齿轮刷，石墨齿轮刷为环形结构，环形结构内壁均布有若干软刷毛，石墨齿轮刷套设与石墨齿轮外侧，用该快速清理石墨齿轮的装置，石墨齿轮表面无沉积物，可以最大限度提高CVD炉每次进行气象沉积过程中石墨齿轮运行稳定性，同时通过包裹式的设计，可以到达更好的清洗效果，同时可以通过移动石墨齿轮固定座的位置，减小齿刷和齿轮的位置误差，提高产品良品率及合格率。