一种双探针的纳米测量仪器

基本信息

申请号 CN202010177815.2 申请日 -
公开(公告)号 CN111238373A 公开(公告)日 2020-06-05
申请公布号 CN111238373A 申请公布日 2020-06-05
分类号 G01B11/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 苏全民;陈庚亮 申请(专利权)人 深圳明锐仪器有限公司
代理机构 北京棘龙知识产权代理有限公司 代理人 戴丽伟
地址 518000广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙飞大道333号启迪协信4栋520
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种双探针的纳米测量仪器,包括测量器主体;所述测量器主体的前端设有第一探针、第二探针;所述第一探针用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号;所述第二探针用于探测被测物体的附近环境的干扰信号;本发明的有益效果在于:本设计采用了双探针,一个探针探测外部环境干扰下的被测物体的信号,另一个探测被测物体的附近环境的干扰信号,通过计算出两个信号数值,最后两个数值相减,得到的数值就是被测物体的数值;让纳米测量系统省去了传统的封闭坏镜设备,且能够测量大型的被测物体。