基于原子力显微镜与离子束的层析检测装置与方法
基本信息
| 申请号 | CN202011321337.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112557702A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112557702A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | G01Q60/24(2010.01)I;G01Q60/42(2010.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈庚亮;吴森 | 申请（专利权）人 | 深圳明锐仪器有限公司 |
| 代理机构 | 上海慧晗知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐海晟 |
| 地址 | 518172广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙飞大道333号启迪协信4栋520 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种基于原子力显微镜与离子束的层析检测装置与方法，其中的层析检测装置，包括用于在内部形成真空环境的设备外壳、原子力显微镜、离子束装置、控制装置，以及样品承载装置；所述样品承载装置与所述原子力显微镜均设于所述真空环境，所述离子束装置固定设于所述设备外壳；所述原子力显微镜包括探针，以及用于驱动所述探针运动的探针驱动结构；所述样品承载装置包括用于承载样品的样品台，以及用于驱动所述样品台与其上样品运动的样品台驱动结构；所述控制装置分别通过信号对所述探针驱动结构与所述样品台驱动结构进行控制。层析检测通过离子束装置和原子力显微镜的原位交替使用或者同时使用实现。 |
