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声表面波装置

基本信息

申请号	CN202110587483.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113114159B	公开（公告）日	2021-12-10
申请公布号	CN113114159B	申请公布日	2021-12-10
分类号	H03H9/145	分类	基本电子电路;
发明人	王阳;陆彬;曹庭松;吴洋洋	申请（专利权）人	北京超材信息科技有限公司
代理机构	北京律智知识产权代理有限公司	代理人	孙宝海;袁礼君
地址	102600 北京市大兴区金盛大街2号院17号楼3层301
法律状态	-

摘要

本发明提出了一种声表面波装置，包括：压电基板；IDT电极，所述IDT电极包括多个IDT电极单元，所述多个IDT电极单元层叠设置在所述压电基板上，其中每个IDT电极单元包括：第一缓冲层，设置在所述压电基板上，所述第一缓冲层包括金属钛或铬中的至少一种，在将所述IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述第一缓冲层的厚度为0.5％λ以下；第一金属层，设置在所述第一缓冲远层离所述压电基板的表面上，所述第一金属层包括铝,所述第一金属层的厚度范围在1％λ‑30％λ之间。根据本发明的声表面装置，能够提高铝的抗电迁移能力，在提高声表面波装置的最大耐受功率的同时，还可以提高声表面波装置的耐久性，并且能够兼顾声表面波装置的频率特性，避免声表面波装置的频率随温度变化漂移比较大，增强温度稳定性。