射频前端声波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202010148821.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113364425A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113364425A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H03H9/145;H03H9/15 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 陈真;刘晓军;韩娜 | 申请（专利权）人 | 合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 230001 安徽省合肥市庐阳区临泉路与凤淮路交口枫林雅苑1#901 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种射频前端声波谐振器，包括：衬底1、底电极2、压电层3、上电极4和空气腔体8；所述空气腔体8由所述衬底1和所述压电层3包围形成，所述底电极2位于所述压电层3的内侧，所述上电极4位于所述压电层3的外侧，所述上电极4包括多个梳状排列的上电极单元。本发明通过采用梳状上电极结构，从而可以改变梳状电极的宽度，进而调节压电谐振器的频率。本发明提出的压电谐振器可以在单片基底上实现多个谐振频率，从而使得本发明具有灵活、方便地调节谐振器频率等优点。 |
