射频压电谐振器空气反射腔的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010148858.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113364419A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113364419A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H03H3/02;H03H9/15 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 陈真;刘晓军;韩娜 | 申请（专利权）人 | 合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 230001 安徽省合肥市庐阳区临泉路与凤淮路交口枫林雅苑1#901 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了射频压电谐振器空气反射腔的制备方法，包括：在衬底层的上表面形成空气反射腔所需形状的牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层；或者，在凹形的衬底层的凹槽中填充牺牲层材料形成牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层。本发明提供的两种射频压电谐振器空气反射腔的制备方法填补了空气腔体制备的空白。 |
