一种基于石墨烯的加速度传感器
基本信息
| 申请号 | CN201510001977.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104502631B | 公开（公告）日 | 2017-06-06 |
| 申请公布号 | CN104502631B | 申请公布日 | 2017-06-06 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王振中 | 申请（专利权）人 | 厦门烯成科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361015 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301c室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于石墨烯的加速度传感器，所述加速度传感器包括表面绝缘的衬底，所述衬底的四周分别设有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜两端分别设有一个金属导电电极，所述加速度传感器还包括一个封装腔，所述封装腔与衬底对应形成一个密闭的腔体，所述腔体内填充有气体。本发明所述的基于石墨烯的加速度传感器利用气体浓度变化以及石墨烯吸附气体的电阻响应来实现对加速度的测量，具有结构简单、响应时间短、灵敏度高和稳定性强的特点。 |
