透镜矩阵制造系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011632070.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112817072A | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN112817072A | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | G02B3/00;G02F1/29;G02F1/1337 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 代林茂;杨阳;黄晖辉;李晓春 | 申请（专利权）人 | 深圳市麓邦技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区打石一路深圳国际创新谷六栋（万科云城六期二栋）A座2103 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及透镜制造技术领域，公开一种透镜矩阵制造系统及方法，以快速制备随机F/#的透镜矩阵。系统包括：基于马赫增德尔的干涉发生装置，耦合透镜系统，设置在其中一道分束光路上的参考镜，在掩膜板的下方设有受控制器控制的用于承载透镜矩阵的三轴位移台，穿过掩膜板通光孔的光包括一束未经过参考透镜的平行光和一束经过参考透镜的发散光；控制器用于生成随机F/#的数据矩阵，并将F/#数据矩阵转换成位移台的三轴数据，根据三轴数据控制三轴位移台在曝光过程中的位移状态切换，得到随机F/#的透镜矩阵；且在制作中，不同F/#的透镜单元与掩膜板之间的间距不同并成特定的函数关系，其函数关系以参考镜的焦距为基准进行构建。 |
