一种超晶格纳米线、光电探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN202111587749.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114695584A 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN114695584A 申请公布日 2022-07-01
分类号 H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张诗豪;李绿周 申请(专利权)人 中山大学
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 510275广东省广州市海珠区新港西路135号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明申请公开了一种超晶格纳米线、光电探测器及其制备方法,超晶格纳米线的制备方法包括:将硫化镉固体粉末和二氧化锡粉末进行配比、研磨并混合均匀,得到前驱体混合粉末;清洗硅衬底;将所述前驱体混合粉末置于所述管式炉的中心加热温区;在所述硅衬底上得到所述超晶格纳米线。通过制备两种材料交替构成的超晶格纳米线,并制备基于所述超晶格纳米线的光电探测器,使得在超晶格纳米线内形成内建电场,有效地将光生载流子进行分离,相较于基于一维纳米线的光电探测器,实现了具有高性能的自供偏振的光电探测性能,从而实现了较高的响应度、探测率以及偏振度,可广泛应用于光电子器件领域。