一种超晶格纳米线、光电探测器及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202111587749.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114695584A | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN114695584A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 张诗豪;李绿周 | 申请(专利权)人 | 中山大学 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 510275广东省广州市海珠区新港西路135号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明申请公开了一种超晶格纳米线、光电探测器及其制备方法,超晶格纳米线的制备方法包括:将硫化镉固体粉末和二氧化锡粉末进行配比、研磨并混合均匀,得到前驱体混合粉末;清洗硅衬底;将所述前驱体混合粉末置于所述管式炉的中心加热温区;在所述硅衬底上得到所述超晶格纳米线。通过制备两种材料交替构成的超晶格纳米线,并制备基于所述超晶格纳米线的光电探测器,使得在超晶格纳米线内形成内建电场,有效地将光生载流子进行分离,相较于基于一维纳米线的光电探测器,实现了具有高性能的自供偏振的光电探测性能,从而实现了较高的响应度、探测率以及偏振度,可广泛应用于光电子器件领域。 |
