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偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其光谱分析的方法

基本信息

申请号 CN201210390616.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102854173A 公开（公告）日 2013-01-02
申请公布号 CN102854173A 申请公布日 2013-01-02
分类号 G01N21/63(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王海鸣;陈进友 申请（专利权）人 无锡天授信息科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214192 江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其光谱分析的方法，所述系统包括脉冲激光器、激光脉冲光路、样品台、椭圆球面镜、光收集系统、偏振器件、光谱仪、计算机；所述脉冲激光器用以产生激光，产生的激光经激光脉冲光路作用在位于样品台的样品上；所述激光脉冲光路由一组全反射镜和透镜组成，或者为满足条件的光纤；样品经脉冲激光剥蚀后产生的光辐射通过椭圆球面镜反射后再经光收集系统及偏振器件进入光谱仪；所述计算机连接光谱仪，用以负责数据分析。本发明提出的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其光谱分析的方法，结构简单，便于携带远程操作，同时可提高检测灵敏度。