一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法

基本信息

申请号 CN201210485520.7 申请日 -
公开(公告)号 CN106098891A 公开(公告)日 2016-11-09
申请公布号 CN106098891A 申请公布日 2016-11-09
分类号 H01L33/36(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 武胜利;肖志国;王景伟;刘琦;闫晓红;薛念亮 申请(专利权)人 大连路美芯片科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116600 辽宁省大连市开发区黄海大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法。基本特征包括以下部分:1.以二氧化硅(或其他材料)作为牺牲层,来固定发光二极管的透明电极与发光平台边缘之间的距离。2.此结构形成在芯片发光平台的边缘处。3.采用这种方法加工发光二极管,会在简化光刻工艺校对过程的同时,使产品的加工结果达到较高的精度和重复性,提高生产效率。