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一种晶体生长设备监控装置

基本信息

申请号 CN201820176647.3 申请日 -
公开（公告）号 CN207919022U 公开（公告）日 2018-09-28
申请公布号 CN207919022U 申请公布日 2018-09-28
分类号 C30B35/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘绍磊;张玉艳;李玉杰;于宏涛;张娜 申请（专利权）人 沈阳奎昊电力机械制造有限公司
代理机构 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 沈阳奎昊电力机械制造有限公司
地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区沈北路49号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种晶体生长设备监控装置，包括触摸屏、给料控制单元、升降控制单元以及气体控制单元，触摸屏安装在一工作台上，触摸屏实现对晶体生长设备运行监视过程、操作过程以及参数的记录过程；触摸屏背板的232接口与所述升降控制单元连接，升降控制单元控制升降电机，升降电机驱动升降机构控制晶体生长炉的升降，触摸屏背板485的接口与气体控制单元连接，气体控制单元调节氧气阀和氢气阀的开度调节晶体生长炉燃烧所需氧气和氢气量，触摸屏背板的以太网接口与给料控制单元连接，给料控制单元调节给料电机旋转速度和振幅调节晶体生长过程中给料量。本实用新型的优点对晶体生长炉的集中监视、集中操作、自动控制、自动调节参数。