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八管区熔炉

基本信息

申请号 CN201521008518.6 申请日 -
公开（公告）号 CN205188473U 公开（公告）日 2016-04-27
申请公布号 CN205188473U 申请公布日 2016-04-27
分类号 C30B13/16(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 诸小龙;冯先达 申请（专利权）人 南京中锗科技有限责任公司
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 南京中锗科技有限责任公司
地址 211165 江苏省南京市江宁开发区将军大道718号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种八管区熔炉，可供在通氢保护气氛区熔，也可以在真空状态下区熔工艺使用。它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管，还包括区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件；炉体组件、区熔小车部件、冷却系统安装于箱体组件上部，供气系统安装于箱体组件下部，调整座组件安装于箱体组件底部；屏蔽罩安装于炉体组件上部，石英管安装于炉体组件内，石英管为八根，相互独立控制。当在真空条件下使用，则将出舟炉门组件气动阀改用DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空泵。本装置安全性高，适用性强，当部分石英管故障，不影响区熔炉使用。