一种利用多晶硅废弃物生产四氯化硅的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201811653009.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109607548A | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN109607548A | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 贾广宇;李旭;成光明;韩云峰 | 申请（专利权）人 | 内蒙古自治区浩森新材料开发有限公司 |
| 代理机构 | 北京劲创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张铁兰 |
| 地址 | 024000 内蒙古自治区赤峰市元宝山区五家工业园区（盛森硅业公司院内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及四氯化硅生产技术领域，特别是一种利用多晶硅废弃物生产四氯化硅的方法，其特征在于，利用氯硅烷混合物、氯化剂、催化剂，在0‑670kPa压力下，130‑320℃温度下生产四氯硅烷。本发明的有益效果在于，采用反应精馏技术实现了反应物氯硅烷和氯化剂单程转化率达100％。高沸物转化为四氯化硅和三氯氢硅的混合物，可再进一步提纯成四氯化硅和三氯氢硅用于生产多晶硅、气相法二氧化硅等，实现了氯硅烷残液的资源化利用。 |
