一种应用在真空工具镀膜设备上的三维转盘结构
基本信息
| 申请号 | CN202121510328.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215103524U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215103524U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李永皓;王英智;郭喜明;吴迪 | 申请（专利权）人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王荣亮 |
| 地址 | 110135辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种应用在真空工具镀膜设备上的三维转盘结构，解决现有技术存在的镀膜工件始终有一侧朝向承载台内侧，工件表面镀膜厚度不均匀，影响产成品质量的问题。包括下转盘，其特征在于：下转盘上转动设置有若干组自转轴，自转轴上分别设置有若干组工件承载盘，各工件承载盘上还分别设置有若干个可转动角度的镀膜工件；自转轴下端设置的转动小齿轮分别与固定大齿轮的外齿相啮合；下转盘中部的转动主轴，通过主轴轴承座与镀膜真空室底部转动相连；转动主轴下端通过联轴器与驱动电机的输出端相连。其设计合理，结构紧凑，在随着大转盘公转和随着工件承载台自转的同时，镀膜工件自身还能够二次自转，可有效确保工件表面镀膜厚度的均匀性，提高涂层质量。 |
