一种双开门真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201920895685.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210085564U | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN210085564U | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪 | 申请（专利权）人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 地址 | 110135 辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种双开门真空镀膜设备，解决现有技术存在的工件取放灵活性差，镀膜效率低，靶材直径小，弧光不够细腻，膜层均匀性差，涂层与基体的结合强度和韧性低，维护不方便的问题。包括内部设置有工件旋转架的长方体状真空室，其特征在于：真空室两侧开口处分别设置有真空密封门Ⅰ和真空密封门Ⅱ，真空密封门Ⅰ和真空密封门Ⅱ的两个弧形内侧壁上，一共设置有三个电弧蒸发源组，每个电弧蒸发源组均由四个电弧蒸发源和四个引弧装置构成，相邻的电弧蒸发源之间设置有加热装置；真空室前部设置有离化源和阳极，真空室后部设置有抽气口。其设计合理，结构紧凑，工件取放灵活，涂层与基体结合强度高、韧性好，靶材多元化、膜系多样化，镀膜效率高，维护方便。 |
