一种应用在硬质涂层真空镀膜设备上的快速冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202121759642.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215328328U | 公开（公告）日 | 2021-12-28 |
| 申请公布号 | CN215328328U | 申请公布日 | 2021-12-28 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I;C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王开亮;王英智;郭喜明;刘洋 | 申请（专利权）人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王荣亮 |
| 地址 | 110135辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种应用在硬质涂层真空镀膜设备上的快速冷却装置，解决现有技术存在的等待降温时间较长，生产设备利用率低，影响企业经济效益的问题。包括设置在真空室顶部的上盖水冷竖接管，其特征在于：上盖水冷竖接管的上端与上端横水冷接管的一端相连，上端横水冷接管的另一端通过真空挡板阀与气体换热器的换热进气口相连；气体换热器的换热出气口通过竖水冷接管与罗茨泵的进气口相连，罗茨泵出气口设置的下端横水冷接管与下端纵水冷接管的一端相连，下端纵水冷接管的另一端与真空室底部的下盖水冷竖接管相连。其设计合理，结构紧凑，采用闭环式换热方式，降温迅速，运行平稳，使用安全可靠，能够确保镀膜工件质量，可有效提升生产设备的利用率。 |
