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一种配置热丝的电弧离子镀膜装置

基本信息

申请号 CN201921404078.4 申请日 -
公开（公告）号 CN210974853U 公开（公告）日 2020-07-10
申请公布号 CN210974853U 申请公布日 2020-07-10
分类号 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 分类 -
发明人 赵彦辉;刘忠海;王海;于宝海;王英智;刘洋 申请（专利权）人 沈阳乐贝真空技术有限公司
代理机构 沈阳优普达知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 中国科学院金属研究所;沈阳乐贝真空技术有限公司
地址 110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于材料表面改性领域，具体涉及一种配置热丝的电弧离子镀膜装置。在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱，每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内，每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上，每个热丝接线柱的另一端露在真空室外侧；相对设置的两个热丝接线柱露出真空室外壁的一端，分别通过导线接热丝电源的正极与负极，相对设置的两个热丝接线柱伸至真空室内的一端通过热丝连接，形成一组热丝发射热电子结构。在镀膜过程中，通过给热丝通电，使其发射热电子，热电子在迁徙过程中通过与气体分子或金属原子发生碰撞，使其发生电离，从而提高真空室内的等离子体密度，提高薄膜致密化程度及其沉积速率。