一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201920895209.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210085563U | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN210085563U | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/50;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪 | 申请（专利权）人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 地址 | 110135 辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备，解决现有技术存在的靶材直径小，弧光不够细腻，溅射颗粒大，膜层均匀性差，涂层与基体的结合强度和韧性低，耐高温抗氧化能力弱的问题。包括内部设置有工件旋转架的真空室，其特征在于：真空室一侧的抽气口与真空抽气系统相连，真空室另一侧的开口处活动设置有真空密封门，真空密封门一端与真空室开口的侧部相铰接，真空密封门另一端锁固在真空室开口的外侧壁上；真空室的内侧壁上、抽气口的两侧，分别设置有两个电弧蒸发源组；真空密封门上设置有离化源和竖直布置的阳极。其设计合理，结构紧凑，工件表面膜层均匀性好，涂层与基体的结合强度高、韧性好，耐高温抗氧化能力强，生产效率高。 |
