一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置
基本信息
| 申请号 | CN202121388211.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215103497U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215103497U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 | 申请（专利权）人 | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王荣亮 |
| 地址 | 110135辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置，解决现有技术存在的厚度较薄的长带锯难以进行表面涂层，无法保证齿面涂层厚度的均匀性，影响带锯使用效果的问题。包括设置在真空室底部的转动主轴，其特征在于：转动主轴的一端与驱动电机相连，转动主轴另一端的大转盘上侧，转动设置有若干组竖向布置的自旋转轴，自旋转轴上端的侧旋转固定架上，分别设置有沿同一圆周、径向水平布置的侧旋转轴，侧旋转轴分别通过传动锥齿轮与对应的自旋转轴相连，侧旋转轴前端分别设置有带锯片工装。其设计合理，结构紧凑，能够对带锯进行齿面的硬质涂层沉积，有效确保涂层厚度的均匀性，提升带锯的使用寿命，便于装卸工件，生产效率高，实用性强。 |
