一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法
基本信息
| 申请号 | CN202010940998.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111996509A | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN111996509A | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 丁力;肖菲;张法光;杨丽萍;韩洪雄 | 申请（专利权）人 | 贵州省机电研究设计院 |
| 代理机构 | 杭州新源专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 贵州省机电研究设计院 |
| 地址 | 550000贵州省贵阳市云岩区香狮路236号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法，包括以下步骤；A、采用N离子对刀具表面氧化层进行离子清洗；B、通过离子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入层；C、在注入层的表面同时进行氮离子注入和TiN离子溅射，沉积一层硬质TiN沉积层。本发明先采用离子注入的方法在刀具基体表面形成注入层，增加刀刃的硬度、强度及耐摩擦性能的同时，改善刀具表面与后续涂层间的物理、化学匹配性能，为获得高结合强度刀具涂层奠定基础。然后通过离子注入法辅助离子溅射沉积方法制备较厚涂层，可以进一步提高涂层的结合强度，使得刀具在生产加工时涂层不会因冲击导致脱落而影响加工效率和效果，可满足更高、更苛刻的环境要求。 |
