一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶
基本信息
| 申请号 | CN201920030014.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209481790U | 公开（公告）日 | 2019-10-11 |
| 申请公布号 | CN209481790U | 申请公布日 | 2019-10-11 |
| 分类号 | C23C16/448;C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 铜陵安德科铭电子材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园3号楼5层E区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，在源瓶中用增加隔板形成隔离区，隔离区成为一个过渡缓冲空间，收集前一步骤产生的液体并可释放前驱体蒸汽到反应腔体中，从而有效避免或减少前驱体液体被带入气体管路或反应腔体。 |
