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一种LCOS表面微支撑结构及其加工方法

基本信息

申请号	CN202210035760.0	申请日	-
公开（公告）号	CN114047647A	公开（公告）日	2022-02-15
申请公布号	CN114047647A	申请公布日	2022-02-15
分类号	G02F1/133（2006.01）I;G02F1/1333（2006.01）I;G02F1/1339（2006.01）I;G02F1/1341（2006.01）I;G02F1/1343（2006.01）I	分类	光学;
发明人	孙雷;张婧姣	申请（专利权）人	南京数字光芯科技有限公司
代理机构	北京沁优知识产权代理有限公司	代理人	周庆路
地址	100000北京市大兴区北京经济技术开发区中和街14号2幢2层A2079号（集中办公区）
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种LCOS表面微支撑结构及其加工方法，包括CMOS基板、封装基板和设置在二者之间的取向层，所述封装基板上靠近所述取向层的一侧设有透明电极，所述CMOS基板上靠近所述取向层的一侧设有金属电极，所述金属电极用于反射入射光线并和所述透明电极之间形成导通电势，所述取向层包括初始态和偏转态两个状态，当所述取向层处于初始态时，不改变入射光的偏振方向，当所述取向层处于偏转态时，经过取向层的入射光的偏振方向旋转90度，所述CMOS基板和所述封装基板之间设有微支撑结构，且所述微支撑结构设置在若干金属电极的交点处，微支撑结构的设置能够有效改善LCOS的液晶盒厚，提高了LCOS的结构稳定性和成像质量。