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一种可以检测单侧电容的电容检测方法

基本信息

申请号	CN202010795066.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112014648A	公开（公告）日	2020-12-01
申请公布号	CN112014648A	申请公布日	2020-12-01
分类号	G01R27/26(2006.01)I;G01D5/241(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	高亭	申请（专利权）人	南京天易合芯电子有限公司
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	南京天易合芯电子有限公司
地址	210000江苏省南京市浦口区浦滨路150号5号楼704室，804~805室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种可以检测单侧电容的电容检测方法，包括步骤：(1)进行第一次检测，将传感元件以及屏蔽层在传感器芯片内短接，并采样此时的电容，为C1＝Cuser+Cback；其中，Cuse为传感元件侧的电容，Cback为屏蔽层侧的电容；(2)进行第二次检测，将传感元件以及屏蔽层分别接入电容电压转换器的正负输入端，并采样此时的电容，为C2＝Cuse‑Cback；其中，传感元件接入正端，屏蔽层接入负端；(3)对两次检测结果求平均，得到传感元件单侧电容Cuser＝(C1+C2)/2。本发明通过不同的连接方式对电容做两次检测，并通过对两次检测结果求平均，得到传感元件单侧电容，屏蔽层一侧的干扰电容被完全消除。