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纯化罐受热保护装置

基本信息

申请号 CN201921813948.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211358771U 公开（公告）日 2020-08-28
申请公布号 CN211358771U 申请公布日 2020-08-28
分类号 B01J19/00(2006.01)I 分类 -
发明人 江晓松 申请（专利权）人 上海先普气体技术有限公司
代理机构 上海怡恩专利代理事务所（普通合伙） 代理人 上海先普气体技术有限公司
地址 201108上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了纯化罐受热保护装置，属于半导体技术领域。它包括包括纯化罐本体，所述纯化罐本体包括罐体、环形加热套，所述环形加热套固定套接在罐体四周侧壁上，所述罐体的顶部连通有纯化出气管，所述纯化出气管远离罐体的一端为水平端。本实用新型再生时，当纯化罐本体从常温加热至高温状态时，纯化罐本体受热沿轴向线性膨胀，整个纯化罐本体向下会顶着纯化进气管，向上会顶着纯化出气管，纯化进气管和纯化出气管的应力无法释放，此时将纯化进气管的一端和纯化出气管的一端均设为水平端，当纯化罐本体受热膨胀时，纯化出气管水平端和纯化进气管水平端都可以起到缓冲作用，从而保护纯化罐本体。