一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源
基本信息
| 申请号 | CN202110101071.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112928001A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112928001A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | H01J27/04;H01J27/02;H01J1/36 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 中科石金（安徽）中子技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律通专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴奇 |
| 地址 | 230601 安徽省合肥市经济技术开发区芙蓉路268号创新创业园创A楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于磁性阳极结构的小型化潘宁离子源，阳极具体表现为具有一定长度的可导电磁环。小型化离子源为典型的潘宁离子源结构，在这个系统中，电子在电场和磁场的共同作用做螺旋线运动，从而产生高密度潘宁等离子体。本发明通过一个具有磁性的阳极结构增强离子源轴向磁场的磁场强度和均匀度，增加电子在放电区域的轨迹长度，增大离子源工作气体和电子的碰撞几率，增大离子源工作气体的电离率，从而实现离子源原子离子比的提高，同时该类型离子源结构简单，制造成本低，寿命长，易于实现小型化。 |
