提高钛合金板材硬质耐磨纳米涂层粘附强度的方法

基本信息

申请号 CN202010158061.6 申请日 -
公开(公告)号 CN111254401A 公开(公告)日 2020-06-09
申请公布号 CN111254401A 申请公布日 2020-06-09
分类号 C23C14/35(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 袁秦峰;梁必成;贺鹏;王以华 申请(专利权)人 浙江申吉钛业股份有限公司
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 浙江申吉钛业股份有限公司
地址 313307浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 一提高钛合金板材硬质耐磨纳米涂层粘附强度的方法,通过设置可独立控制的射频阴极磁控溅射涂层装置,通过磁控管喷雾的方式获得合成靶TiB2+TiN、TiBe+Ti9Cr4B+Cr2Ti或TiB2+SiC后进一步通过离子浸蚀方法在合成靶表面得到复合涂层。本发明的涂层粘附强度提高六倍以上。用等离子浸蚀方法,增加衬层粗糙度;增加偏压不仅增加粘合力,还改善了涂层密度;通过调节沉积温度来提高涂层的附着强度。