一种微蚀减铜添加液及工艺
基本信息
申请号 | CN201810784521.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109097776A | 公开(公告)日 | 2018-12-28 |
申请公布号 | CN109097776A | 申请公布日 | 2018-12-28 |
分类号 | C23F1/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 赵志斌;欧胜;肖红星;孙宝林;舒良 | 申请(专利权)人 | 东莞市广华化工有限公司 |
代理机构 | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 高之波;莫莉萍 |
地址 | 523000 广东省东莞市道滘镇九曲村涡口(九曲至洪梅公路旁) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种微蚀减铜添加液及工艺,该添加液由含量为以下质量百分数的组分组成:无机酸化合物10%‑20%;双氧水稳定剂1%‑5%;减铜加速剂5%‑15%;水余量;所述物质都以纯物质的质量计算。本发明提供一种微蚀减铜添加液,可按生产要求调节蚀刻速率,将基材板的铜厚度蚀刻至所需厚度,蚀刻速率稳定且能很好的清除金属表面的氧化物,槽液中双氧水的稳定性有所提高。而且,本发明产品中不含有双氧水,与传统微蚀液相比,生产和运输过程中的安全性有了很大的提高。 |
